項目 | 内容 |
発振器波長・出力 | RF励起CO2レーザ |
レーザ走査方式 | ガルバノスキャナとステージによるOn the fly |
ガルバノスキャナ | 光エンコーダ式デジタルガルバノスキャナ |
ステージ | リニア駆動式XYステージ (Max.1000mm/s) |
位置補正 | 画像認識によるアライメント |
ワーク固定 | 500×500mm対応 アルミ製ワークセットテーブルでの真空吸着 |
光学系 | ビーム成型光学系(オプション) Fθレンズ 他 |
装置サイズ | W2100mm×D2100×H2300mm (FFU除く) |