激光图案化
激光图案化
激光图形化工艺是一种干燥工艺，对于在玻璃基板和薄膜基材上成膜的各种功能性薄膜，通过照射激光选择性地进行去除加工，形成各个器件所需的电路和元件图案。
玻璃基板上的ITO薄膜图案化
线宽：25μm
薄膜上的ITO薄膜图案化
线宽：30μm
薄膜上的银膏图案化
线宽：25μm
特别是在导电性材料(ITO、银纳米线、CNT等透明导电膜和银膏等导电膏)的电极形成中使用较多。
激光图案化的特征
- ▶可选择从近红外波长到紫外波长的激光光源，支持各种APP
- ▶通过激光的高速射出控制，实现自由的图案化
- ▶依靠恒定的激光扫描速度进行均匀的加工
- ▶组合数字电流扫描仪和驱动工作台的高精度图案化
- ▶备有从研究开发用途到批量生产用途的3种类型的装置
①与光刻相比
- 不需要光掩模，通过PC数据不耗费时间就能轻易地变更或修改图案。
- 可以减少清洗工序等，实现工时和成本的削减。也可以降低设备投资维持费用。
- 由于采用了不使用显影液和腐蚀液的干燥工艺，可以降低运行成本，并减少环境负荷。
②与丝网印刷相比
- 也支持50μm以下的微细图案
- 无需与图案对应的掩膜
③与喷墨相比
- 也能用于无法油墨化的材料
- 也可以实现100nm以下厚度的薄膜的图案化
用途
移动设备/触控面板
- 透明电极膜的图案化
- 取出电极膜的图案化
有机EL显示器
- 透明电极膜的图案化
- 功能膜的修整
汽车
- 透明电极膜的图案化
- 取出电极膜的图案化
- 零部件表面处理/打标
数字家电
- 微细开孔
- 打标
半导体/太阳能电池
- 薄膜划线
- 打标
批式激光图案化装置
TLPS 系列
是搭载数字电流扫描仪和高精度的工件定位载物台的批量型图案形成装置。
对于触控面板显示器和有机EL设备等的电路形成，从生产到试制均可应对。
标准工件尺寸为500mm×500mm。
根据用途或大小进行设计。
在最佳条件下，可以进行宽10μm的微细加工。
研究开发/试制用激光图案化装置
TLSM -202
专用于研究开发和试制用途的紧凑、低价格的激光图案化装置。
也可以加工玻璃基板和薄膜基材等工件。
搭载数字电流扫描仪，可实现新一代开发用途等高端的高精细图案化。关于标准工件尺寸，根据150 x 150mm加工对象进行设计。
卷对卷式激光图案化系统
TLRP 系列
支持卷状薄膜和长尺寸工件的激光图案形成装置。
将工件放置在卷绕装置/开卷装置上，可以进行连续加工。
由于能够实现高精度/高速图案化，因此在标准机构里组合了线性驱动台架和数字式电扫描仪。
(根据材料和加工内容选择最合适的机构和激光种类和波长)